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狹義的空氣潔凈度包含了需要控制的**小微粒粒徑和微粒的濃度兩個(gè)指標(biāo)廣義的空氣潔凈度還包括分子態(tài)污染物指標(biāo)。就服務(wù)對(duì)象來(lái)說(shuō)，手術(shù)室可以分為普通手術(shù)室和急救手術(shù)室。手術(shù)室層流凈化中過(guò)濾器的三大參數(shù)。

手術(shù)室層流凈化以控制非生命微粒為主要目標(biāo)，其中集成電路行業(yè)手術(shù)室的控制目標(biāo)**為嚴(yán)格。由于集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的發(fā)展，電路特征尺寸或基本圖形尺寸(電路元件金屬連線的寬度或者導(dǎo)線之間的距離)已經(jīng)發(fā)展到0.1μm以下，一粒粒徑與特征尺寸或基本圖形尺寸相當(dāng)?shù)奈⒘＞涂梢云茐脑械碾娐吩O(shè)計(jì)(短路、破壞*緣等)，因此手術(shù)室層流凈化中，控制的**小微粒的尺寸在基本圖形尺寸大小的1/3~1/10，而超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間甚至應(yīng)該控制分子態(tài)污染物。以下是手術(shù)室層流凈化中過(guò)濾器的三大參數(shù)。

1.面速、濾速

過(guò)濾器的比較重要的特性參數(shù)主要有四個(gè)，即面速或?yàn)V速、效率、阻力和容塵量，此外還有重量、消耗動(dòng)力和**特性等。手術(shù)室層流凈化中，濾速、阻力和容塵量直接影響過(guò)濾器阻力變化，是本研究關(guān)心的參數(shù)。

而濾速是指濾料面積上通過(guò)的氣流的速度，由于濾料本身需要有一定的結(jié)構(gòu)和強(qiáng)度，采用的黏結(jié)材料等不能透過(guò)空氣，因而需要減去這部分面積。手術(shù)室層流凈化中，過(guò)濾器的濾料只有在一定的濾速下，才能有效的捕集微粒。由此可知，當(dāng)風(fēng)量增加過(guò)大時(shí)，風(fēng)管應(yīng)該相應(yīng)增大，安裝更大或者更多的過(guò)濾器(即使用多個(gè)并聯(lián)過(guò)濾器代替原先的一個(gè)過(guò)濾器)。

2.過(guò)濾效率以及串聯(lián)效率

手術(shù)室層流凈化中，過(guò)濾器的效率是決定過(guò)濾器的等級(jí)的主要參數(shù)之一，當(dāng)被過(guò)濾氣體的微粒濃度為計(jì)重濃度時(shí)，過(guò)濾器的效率應(yīng)采用計(jì)重效率;當(dāng)被過(guò)濾氣體的微粒濃度為計(jì)數(shù)濃度時(shí)，過(guò)濾器的效率應(yīng)采用計(jì)數(shù)效率。此外還有比色效率和濁度效率等。由于現(xiàn)有的過(guò)濾器的效率均是按照計(jì)數(shù)效率標(biāo)定，而決定積塵速度的是計(jì)重效率。手術(shù)室層流凈化中，需要對(duì)計(jì)重效率和計(jì)數(shù)效率進(jìn)行換算。此外由于手術(shù)室風(fēng)系統(tǒng)過(guò)濾器多級(jí)串聯(lián)，需要、計(jì)算串聯(lián)過(guò)濾器的總效率和穿透率。

3.容塵量

過(guò)濾器的容塵量定義為：在額定工況下運(yùn)行，終阻力達(dá)到初阻力兩倍時(shí)過(guò)濾器上的積塵量。由定義可知，手術(shù)室層流凈化中，容塵量與終阻力的概念實(shí)際上時(shí)等效的，因此利用較小的終阻力來(lái)作為過(guò)濾器的更換判據(jù)，其積塵量不會(huì)突破容塵量，是可靠的。