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過濾器在芯片廠的使用

發(fā)布:盛之源凈化設(shè)備         閱讀:1497         日期:2023-06-29

過濾器在芯片廠的使用文章概要:當(dāng)今,半導(dǎo)體芯片廠對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度**挑剔,對空氣過濾器的要求也**苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”,即集成電路上導(dǎo)線的寬度。在線寬以微米計算的年代,制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說又變成了1/4、1/2。20···

過濾器在芯片廠的使用

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當(dāng)今,半導(dǎo)體芯片廠對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度**挑剔,對空氣過濾器的要求也**苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”,即集成電路上導(dǎo)線的寬度。在線寬以微米計算的年代,制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年,普通微機(jī)中p4處理器的線寬縮小到了0.13μm,此時任何粉塵都可能損害電路,粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較過時了。

芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”,車間的整個口板上布滿無隔板高效過濾器,整個地面為回風(fēng)柵板?,F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過濾裝置(FFU,F(xiàn)anFilterUnits)。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度,只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異。

能擠進(jìn)芯片廠的高效過濾器和FFU都要經(jīng)過逐臺掃描測試。芯片廠認(rèn)為,傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOp法的帳。

空氣中的海鹽離子是所有電子工業(yè)的大敵,但海鹽粉塵的顆粒比較大,普通過濾器就能將其清除。有人說電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可國內(nèi)芯片廠就建在了經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)的沿海地區(qū),在過濾器上多花點(diǎn)錢就是了。

芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯pTFE纖維過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它帶靜電,過濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離子,少了個隱患,多了個麻煩。目前pTEE濾材的價格偏高,*大部分高效過濾器仍使用傳統(tǒng)的玻纖濾紙。高效過濾器上可能的揮發(fā)物主要來源于制造過程中使用的粘結(jié)劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材料、為芯片廠供貨的過濾器廠商要在避免微量揮發(fā)物上下些功夫。

但當(dāng)芯片的線寬小到0.5μm時,人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,后建的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過濾器。芯片廠說的化學(xué)過濾器就是活性炭過濾器,它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。

化學(xué)污染物的來源有:室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下,設(shè)計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,芯片廠用的化學(xué)過濾器應(yīng)具有兩個特點(diǎn):廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些,能有這種功能的就是**傳統(tǒng)的、**便宜的、微孔尺寸大小不均的顆?;钚蕴?。如果能確定污染物種類,就可對吸附材料進(jìn)行有針對性的化學(xué)處理,以增強(qiáng)對特定污染物的吸附能力。過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù),以幫助用戶確定化學(xué)過濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過濾的專家,并與**實驗室有密切的關(guān)系。遺憾的是國內(nèi)過濾廠商沒有幾家在那上面下功夫,所以國內(nèi)芯片廠目前使用的化學(xué)過濾器多數(shù)是*產(chǎn)品。

半導(dǎo)體工業(yè)并非“無煙工業(yè)”,它也有環(huán)境問題。那里經(jīng)常采用**新的工藝和材料,有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評估前就已經(jīng)大量使用了。為降低環(huán)境風(fēng)險,有些芯片廠的排風(fēng)系統(tǒng)也裝有化學(xué)過濾器。

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